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高价回收进口长晶炉,冶炼炉设备(无锡全境上门回收)

 
 
单价 28888.00 / 件对比
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发货 安徽芜湖市付款后3天内
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品牌 进口/国产
型号 不限
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更新 2023-04-06 06:56
 
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芜湖禾梦再生资源回收利用有限公司

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  • 安徽-芜湖市
  • 上次登录 2023-04-03
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  • 王经理 (先生)  
详细说明

单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢制造。所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。
一、主炉体构造
1、基座与炉底板
炉底板设计成平板式,具有双层结构,通水冷却。四只电极穿过底板,在坩埚提升机构的波纹管连接处有一个水冷却法兰区。
2、主、下炉室
主、下炉室为双层筒状结构,两端为法兰结构,通水冷却,并有隔水条保证冷却均匀。主炉室设置了一个测温计窗口,用于测量加热器温度。下炉室有抽真空和真空计接口(0~100Torr和0~1Torr)。下炉室在正常操作过程中始终用压板固定在炉底板上,通过氟橡胶O型圈实现真空密封。
3、炉盖
炉盖为炉体和隔离阀座提供了一个过渡区。炉盖采用标准炉盖制造,双层通水冷却。在炉盖上设有一个操作者观察窗口(类椭圆形)和一个直径控制窗口(圆形)。操作者观察窗口允许单晶直径测量范围最大至10”,氩气入口设置在炉盖的喉部。
4、隔离阀座
隔离阀座为双层水冷却结构,前圆后方,正前方设有一道圆门,可以通过圆门方便拆卸和更换籽晶夹头。圆门中心设有圆形观察窗。隔离阀座为隔离阀提供了安装及活动空间,隔离阀的作用是为籽晶或单晶提供进入副炉室的通道,同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。隔离阀是翻板阀结构,阀板和阀体均是固定式双层结构,通水冷却。隔离阀座侧面设有两个籽晶位置检测窗口(激光定位),后部有一个氩气入口,可以实现快充氩气。
5、副炉室
副炉室为圆筒形腔体,双层结构,水冷却。副炉室上部前方设有一个圆形法兰,可以打开用于清理腔体上部,法兰中心设有圆形观察窗。副炉室上部是水平调整机构(见附件12),设有一个氩气入口(正常拉晶时的氩气通道)、一个抽真空接口(当隔离阀关闭时副炉室抽真空用)和一个真空计接口(0~1000Torr)。
二、籽晶提升旋转机构
籽晶旋转提升机构俗称提拉头,主要由安装盘、减速机、籽晶腔(真空腔)、划线环、快速电机、慢速电机、旋转电机、离合器、磁流体、钢缆、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成。
提拉头的主要功能有使籽晶旋转提升,并保证匀速旋转变速提升,且记录单晶重量位移等数据。
在籽晶提升机构里采用钢索卷筒提升钢丝绳。整个提升装置在一根中空的轴上旋转,该机构经过静平衡和动平衡测试,在整个运行范围内可实现无振动平稳的运行。旋转密封和提升进给密封均采用磁流体密封。提升腔、离合器腔、称重腔和晶升底板均由高强度铝制造而成。
三、副炉室旋转机构
旋转机构采用直流伺服电机,双级蜗轮蜗杆减速,加强型同步带传动,可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭,实现取单晶过程的自动化动作。
四、坩埚提升旋转机构
坩埚提升机构的垂直方向采用了滚珠直线导轨和高精度丝杆,在高负载甚至电机断电的情况下实现自锁。坩埚旋转采用可承受高转矩的多碶带驱动,从而消除了齿形带传动的震颤。旋转密封采用可承受轴向力磁流体密封,垂直密封采用不锈钢波纹管。坩埚提升机构中直线导轨座和底板成90°固定,两者间采用筋板支撑,从而提高整体的刚度,避免由侧向力矩引起的直线导轨和丝杆的变形。
在单晶生长过程中会形成硅氧化物(SiO)小颗粒并沉积在波纹管中。这些氧化物应被定期清除出去。将波纹管从坩埚轴密封一恻松开。将它在适当位置系好以防止它往下弹回去。用真空吸尘器清除所有的灰尘,包括磁流体密封座的密封表面上的灰尘檫拭干净后装回波纹管。

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