九江市宝石长晶炉回收,废旧成套宝石炉上门收购专业公司价格咨询
单晶硅片由此进入生产流程:
1、酸洗:使用稀硝酸HNO3,进行清洗,去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅。
2、清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。
3、单晶硅料烘干:去除水分。
4、挑料:区分P型,N型硅料。
5、配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。
6、单晶炉拉晶
7、硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。
8、开断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。
9、包装:将开断后的单晶硅棒进行包装,送至下一道工序
10、磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。
11、多线切割:瑞士的264,265。日本的PV800,MDM442DM设备进行切割0.33mm。
12、清洗
13、单晶硅片检测:
单晶炉的结构
单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢制造。所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。
一、主炉体构造
1、基座与炉底板
炉底板设计成平板式,具有双层结构,通水冷却。四只电极穿过底板,在坩埚提升机构的波纹管连接处有一个水冷却法兰区。
2、主、下炉室
主、下炉室为双层筒状结构,两端为法兰结构,通水冷却,并有隔水条保证冷却均匀。主炉室设置了一个测温计窗口,用于测量加热器温度。下炉室有抽真空和真空计接口(0~100Torr和0~1Torr)。下炉室在正常操作过程中始终用压板固定在炉底板上,通过氟橡胶O型圈实现真空密封。
3、炉盖
炉盖为炉体和隔离阀座提供了一个过渡区。炉盖采用标准炉盖制造,双层通水冷却。在炉盖上设有一个操作者观察窗口(类椭圆形)和一个直径控制窗口(圆形)。操作者观察窗口允许单晶直径测量范围最大至10”,氩气入口设置在炉盖的喉部。
4、隔离阀座
隔离阀座为双层水冷却结构,前圆后方,正前方设有一道圆门,可以通过圆门方便拆卸和更换籽晶夹头。圆门中心设有圆形观察窗。隔离阀座为隔离阀提供了安装及活动空间,隔离阀的作用是为籽晶或单晶提供进入副炉室的通道,同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。隔离阀是翻板阀结构,阀板和阀体均是固定式双层结构,通水冷却。隔离阀座侧面设有两个籽晶位置检测窗口(激光定位),后部有一个氩气入口,可以实现快充氩气。
5、副炉室
副炉室为圆筒形腔体,双层结构,水冷却。副炉室上部前方设有一个圆形法兰,可以打开用于清理腔体上部,法兰中心设有圆形观察窗。副炉室上部是水平调整机构(见附件12),设有一个氩气入口(正常拉晶时的氩气通道)、一个抽真空接口(当隔离阀关闭时副炉室抽真空用)和一个真空计接口(0~1000Torr)。